发明名称 DEVICE FOR NON-DESTRUCTIVE CHECKING OF SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 SU947791(A1) 申请公布日期 1982.07.30
申请号 SU19802987882 申请日期 1980.10.03
申请人 BRUSS G UNIV IM.V.I.LENINA 发明人 DROZDOV NIKOLAJ A,SU;PATRIN ALEKSEJ A,SU;PODOLNYJ EDUARD I,SU;SAVOTIN YURIJ I,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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