| 发明名称 |
KATODENANORDNUNG UND REGELVERFAHREN FUER KATODENZERSTAEUBUNGSANLAGEN MIT EINEM MAGNETSYSTEM ZUR ERHOEHUNG DER ZERSTAEUBUNGSRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3047113(A1) |
申请公布日期 |
1982.07.29 |
| 申请号 |
DE19803047113 |
申请日期 |
1980.12.13 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
MUENZ,WOLF-DIETER,DR.-ING.;WOLF,HANS |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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