| 发明名称 |
SPUTTERING APPARATUS HAVING AUTOMATIC MOUNT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57120670(A) |
申请公布日期 |
1982.07.27 |
| 申请号 |
JP19810194625 |
申请日期 |
1981.12.04 |
| 申请人 |
BEBU |
发明人 |
UORUFUGANGU KOTSUSHIYU;JIIGUFURIITO UETSUKENTO;GETSUTSU TESHIYUNERU;URURITSUHI HAIJITSUHI |
| 分类号 |
C23C14/50;B05B13/02;B05C5/02;C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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