| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MONOLITHISCH INTEGRIERTEN HALBLEITERSCHALTUNG |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE3047140(A1) |
申请公布日期 |
1982.07.22 |
| 申请号 |
DE19803047140 |
申请日期 |
1980.12.15 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
GLASL,ANDREAS,DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/331;H01L29/10;(IPC1-7):H01L21/72;H01L21/18;H01L21/31;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
