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发明名称
摘要
申请公布号 DE2619663(C3) 申请公布日期 1982.07.22
申请号 DE19762619663 申请日期 1976.05.04
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 DORDA, GERHARD, DIPL.-PHYS. DR., 8000 MUENCHEN, DE;EISELE, IGNAZ, DIPL.-PHYS. DR., 8012 OTTOBRUNN, DE
分类号 H01L29/80;H01L21/338;H01L29/10;H01L29/167;H01L29/207;H01L29/66;H01L29/78;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/78;H01L47/00 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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