发明名称
摘要
申请公布号 JPS57117641(U) 申请公布日期 1982.07.21
申请号 JP19810003808U 申请日期 1981.01.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;B65B9/02;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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