发明名称 ELECTRON BEAM SCANNING DEVICES
摘要
申请公布号 GB2029636(B) 申请公布日期 1982.07.21
申请号 GB19790025955 申请日期 1979.07.25
申请人 CAMBRIDGE SCIENTIFIC INSTRUMENTS LTD 发明人
分类号 H01J37/26;H01J37/304;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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