| 发明名称 |
ELECTRON BEAM DRAWING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57114233(A) |
申请公布日期 |
1982.07.16 |
| 申请号 |
JP19810179094 |
申请日期 |
1981.11.10 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
ARUFURETSUDO MATSUKU;BURAIAN KORINZU OONEIRU |
| 分类号 |
H01J37/20;H01L21/027;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/687 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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