发明名称 METHOD OF PRODUCING DIFFRACTION MATRIX GRATINGS FOR REPLICA COPYING
摘要
申请公布号 SU943625(A2) 申请公布日期 1982.07.15
申请号 SU19803214879 申请日期 1980.12.05
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I KZ FILIALA AN SSSR 发明人 STREZHNEV STEPAN A,SU;FUNK LIDIYA A,SU;KHAJBULLIN ILDUS B,SU;FAJZRAKHMANOV ILDAR A,SU
分类号 G02B5/18;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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