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发明名称 METHOD FOR PRODUCING CURRENT-LESS PLASMA
摘要
申请公布号 SU890954(A1) 申请公布日期 1982.07.15
申请号 SU19802922448 申请日期 1980.05.07
申请人 SHVETS O.M.,SU;KALINICHENKO S.S.,SU;NAZAROV N.I.,SU;LYSOJVAN A.I.,SU;DIKIJ A.G.,SU 发明人 SHVETS O.M.,SU;KALINICHENKO S.S.,SU;NAZAROV N.I.,SU;LYSOJVAN A.I.,SU;DIKIJ A.G.,SU
分类号 H05H1/18;G21B1/00;G21B1/21;H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/00 主分类号 H05H1/18
代理机构 代理人
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