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发明名称
FIGURENGENERATOR FUER ELEKTRONENSTRAHLBEARBEITUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号
DD155944(A1)
申请公布日期
1982.07.14
申请号
DD19800226768
申请日期
1980.12.31
申请人
SCHIMPKE,KLAUS,DD;HERING,HANNES,DD;HULTSCH,REINER,DD
发明人
SCHIMPKE,KLAUS,DD;HERING,HANNES,DD;HULTSCH,REINER,DD
分类号
G05B15/02;H01J37/147;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/302
主分类号
G05B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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