发明名称 VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER PROFILPARAMETER BIPOLARER SI-EPITAXIE-PLANARSCHALTKREISE
摘要
申请公布号 DD155932(A1) 申请公布日期 1982.07.14
申请号 DD19800226663 申请日期 1980.12.24
申请人 EIGLER,HANS,DD;MOELLER,WILHELM,DD;SCHMALWASSER,WILFRIED,DD 发明人 EIGLER,HANS,DD;MOELLER,WILHELM,DD;SCHMALWASSER,WILFRIED,DD
分类号 G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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