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发明名称
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER PROFILPARAMETER BIPOLARER SI-EPITAXIE-PLANARSCHALTKREISE
摘要
申请公布号
DD155932(A1)
申请公布日期
1982.07.14
申请号
DD19800226663
申请日期
1980.12.24
申请人
EIGLER,HANS,DD;MOELLER,WILHELM,DD;SCHMALWASSER,WILFRIED,DD
发明人
EIGLER,HANS,DD;MOELLER,WILHELM,DD;SCHMALWASSER,WILFRIED,DD
分类号
G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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