发明名称 EPITAXIAL GROWTH OF LIQUID PHASE AND GROWTH DEVICE OF LIQUID PHASE
摘要
申请公布号 JPS57111297(A) 申请公布日期 1982.07.10
申请号 JP19800187300 申请日期 1980.12.29
申请人 FUJITSU KK 发明人 TANAHASHI TOSHIYUKI;KISHI YUTAKA
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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