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发明名称
摘要
申请公布号 FR2396332(B1) 申请公布日期 1982.07.09
申请号 FR19780017712 申请日期 1978.06.07
申请人 IBM 发明人
分类号 H01L21/30;G03F7/30;G11B7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03C5/24;G01N23/20;G11C11/14 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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