发明名称 Low capacitance self-aligned semiconductor electrode structure and method of fabrication
摘要
申请公布号 GB2090467(A) 申请公布日期 1982.07.07
申请号 GB19810038538 申请日期 1981.12.22
申请人 GTE LABORATORIES INC 发明人
分类号 H01L29/80;H01L21/3213;H01L21/335;H01L29/10;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/772;(IPC1-7):H01L21/44 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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