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发明名称 DRY FILM PROTORESIST MATERIAL
摘要
申请公布号 SU941918(A1) 申请公布日期 1982.07.07
申请号 SU19762382553 申请日期 1976.08.10
申请人 KUZNETSOV VLADIMIR N,SU 发明人 KUZNETSOV VLADIMIR N,SU
分类号 G03F7/004;G03F7/028;G03F7/033;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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