TRANSDUCTEUR EXTENSOMETRIQUE A SEMI-CONDUCTEURS

摘要

LE TRANSDUCTEUR EXTENSOMETRIQUE A SEMI-CONDUCTEURS COMPORTE UN ELEMENT SENSIBLE 3 SOUS FORME D'UN SUBSTRAT MONOCRISTALLIN DE SAPHIR 4 DOTE EN SURFACE DE RESISTANCES EXTENSOMETRIQUES EPITAXIEES DE SILICIUM DE TYPE P 5. LA CONCENTRATION DE TROUS DANS LE SILICIUM EST DE 3, 5.10 A 3.10CM. LES RESISTANCES EXTENSOMETRIQUES 5 SONT RELIEES ENTRE ELLES DE FACON A FORMER UN PONT OU UN DERIVATEUR EXTENSOMETRIQUE. CE TRANSDUCTEUR EXTENSOMETRIQUE A SEMI-CONDUCTEURS EST DESTINE A MESURER LES EFFORTS, LES PRESSIONS, LES DEPLACEMENTS, LES ACCELERATIONS ET D'AUTRES PARAMETRES MECANIQUES.