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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TEILCHENSTROMIONISIERUNG UND HOCHRATEBESCHICHTUNG
摘要
申请公布号 DD141932(B1) 申请公布日期 1982.06.30
申请号 DD19780209846 申请日期 1978.12.18
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;C23C8/38;C23C14/22;C23C14/46;H01J37/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/265;H05H1/38;H05H1/40;H05H1/42 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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