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发明名称 SECONDARY ELECTRON DETECTOR FOR SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5730253(B2) 申请公布日期 1982.06.28
申请号 JP19760140755 申请日期 1976.11.25
申请人 发明人
分类号 H01B13/14;B29B7/00;B29C47/00;B29C47/02;H01B3/30;H01B13/00 主分类号 H01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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