发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP, A GRILLE AUTO-ALIGNEE, ET TRANSISTORS AINSI OBTENUS
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE FABRICATION DE TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP, A GRILLE 8 AUTO-ALIGNEE SUBMICRONIQUE, SANS MASQUE SUBMICRONIQUE.</P><P>L'INVENTION EST REMARQUABLE EN CE QU'IL CONSISTE A SOUS-GRAVER L'ELECTRODE DE DRAIN 4, PRECEDEMMENT RECOUVERTE DE LAQUE 5, SUR UNE DISTANCE TYPIQUEMENT INFERIEURE AU MICRON, A DEPOSER L'ELECTRODE DE SOURCE 6, A GRAVER LE MATERIAU SEMI-CONDUCTEUR 2 ET A DEPOSER DANS LA CAVITE AINSI FORMEE L'ELECTRODE DE GRILLE 8.</P><P>L'INVENTION CONCERNE EGALEMENT LES TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP AINSI OBTENUS.</P><P>APPLICATION : TRANSISTORS A EFFET DE CHAMP.</P>
申请公布号 FR2496982(A1) 申请公布日期 1982.06.25
申请号 FR19800027423 申请日期 1980.12.24
申请人 LABO ELECTRONIQUE PHYSIQUE APPLI 发明人 DIDIER MEIGNANT
分类号 H01L29/80;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/30;H01L29/78 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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