| 发明名称 |
MOS-HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3142448(A1) |
申请公布日期 |
1982.06.24 |
| 申请号 |
DE19813142448 |
申请日期 |
1981.10.26 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
UCHIDA,YUKIMASA |
| 分类号 |
H01L21/86;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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