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发明名称
PROCESS FOR THE EXPOSURE OF A RADIATION-SENSITIVE LAYER TO RONTGEN RAYS
摘要
申请公布号
DE2962661(D1)
申请公布日期
1982.06.24
申请号
DE19792962661
申请日期
1979.01.31
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
BOHLEN, HARALD;GRESCHNER, JOHANN, DR.;KULCKE, WERNER, DR.;NEHMIZ, PETER, DR.
分类号
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;G03F7/02
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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