发明名称 PROCESS FOR THE EXPOSURE OF A RADIATION-SENSITIVE LAYER TO RONTGEN RAYS
摘要
申请公布号 DE2962661(D1) 申请公布日期 1982.06.24
申请号 DE19792962661 申请日期 1979.01.31
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BOHLEN, HARALD;GRESCHNER, JOHANN, DR.;KULCKE, WERNER, DR.;NEHMIZ, PETER, DR.
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;G03F7/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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