| 发明名称 |
Method of forming thin window drifted silicon charged particle detector |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3310443(A) |
申请公布日期 |
1967.03.21 |
| 申请号 |
US19630307269 |
申请日期 |
1963.09.06 |
| 申请人 |
FESSLER THEODORE E;SMITH ALBERT B;SAMUEL VINCENT JOHN |
发明人 |
FESSLER THEODORE E.;SMITH ALBERT B.;VINCENT JOHN SAMUEL |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/22;H01L29/00;H01L31/117 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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