发明名称 MASK AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
摘要
申请公布号 SU938338(A1) 申请公布日期 1982.06.23
申请号 SU19782675175 申请日期 1978.10.30
申请人 GUNINA NINA M,SU;POYARKOV IGOR,SU;LOGUTOVA LYUDMILA V,SU;STEPANOV VALERIJ V,SU;LAVRENTEV KONSTANTIN A,SU;CHERNIKOV ANATOLIJ M,SU 发明人 GUNINA NINA M,SU;POYARKOV IGOR I,SU;LOGUTOVA LYUDMILA V,SU;STEPANOV VALERIJ V,SU;LAVRENTEV KONSTANTIN A,SU;CHERNIKOV ANATOLIJ M,SU
分类号 G03F1/56;G03F1/58;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/265;(IPC1-7):01L21/26 主分类号 G03F1/56
代理机构 代理人
主权项
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