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发明名称 BEAM BLANKING ELECTRODE FOR AN ELECTRON BEAM GENERATING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0048856(A3) 申请公布日期 1982.06.23
申请号 EP19810107145 申请日期 1981.09.10
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 FEUERBAUM, HANS-PETER, DIPL.-PHYS.;WEYL, REINHARD, DR.
分类号 H01J37/06;H01J37/04;H01J37/141;H01L21/027;(IPC1-7):H01J3/00 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
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