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发明名称
PROCESS FOR THE PRODUCTION OF HIGHLY HEAT-RESISTANT RELIEF STRUCTURES, AND THEIR USE
摘要
申请公布号
EP0041678(A3)
申请公布日期
1982.06.23
申请号
EP19810104179
申请日期
1981.06.01
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN
发明人
AHNE, HELMUT, DR.;KUHN, EBERHARD;RUBNER, ROLAND, DR.
分类号
G03F7/004;C08F2/00;C08F2/46;C08G73/06;C08G73/10;C08G73/18;C08G73/22;C08L79/08;G03F7/027;G03F7/038;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/26;C08L79/04;G03C1/70;G03F7/10;H01B3/30
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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