发明名称
摘要
申请公布号 JPS57101987(U) 申请公布日期 1982.06.23
申请号 JP19800178453U 申请日期 1980.12.12
申请人 发明人
分类号 G04B37/18;G04C10/00;G04C10/02;H01L31/00;H01L31/04;(IPC1-7):G04B37/18 主分类号 G04B37/18
代理机构 代理人
主权项
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