发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHABLONENSUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DD155664(A1) 申请公布日期 1982.06.23
申请号 DD19780208460 申请日期 1978.10.16
申请人 SPRINGER,REINHARD,DD;BURKHARD,FRIEDER,DD;ROCHELT,WALTER,DD;RAUBACH,HEINZ,DD;HEIN,DIETER,DD;FALK,BERND,DD;BEYER,CHRISTINE,DD 发明人 SPRINGER,REINHARD,DD;BURKHARD,FRIEDER,DD;ROCHELT,WALTER,DD;RAUBACH,HEINZ,DD;HEIN,DIETER,DD;FALK,BERND,DD;BEYER,CHRISTINE,DD
分类号 H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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