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发明名称 FORMING METHOD FOR THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS5799774(A) 申请公布日期 1982.06.21
申请号 JP19800163760 申请日期 1980.11.19
申请人 SHARP KK 发明人 MINEZAKI SHIGEHIRA
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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