| 发明名称 |
FILM-FORMING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5799358(A) |
申请公布日期 |
1982.06.21 |
| 申请号 |
JP19800174252 |
申请日期 |
1980.12.10 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI KK |
发明人 |
HONJIYOU SHIGERU;KITANE SHIYOUICHI |
| 分类号 |
B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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