发明名称 Vacuum pump apparatus
摘要
申请公布号 US3343780(A) 申请公布日期 1967.09.26
申请号 US19650437536 申请日期 1965.03.05
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人 HAYWARD WESLEY H.
分类号 H01J41/16 主分类号 H01J41/16
代理机构 代理人
主权项
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