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发明名称 REMOVING HARDENED ORGANIC MATERIALS DURING FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 GB2089125(A) 申请公布日期 1982.06.16
申请号 GB19810036513 申请日期 1981.12.03
申请人 WE 发明人
分类号 H01L21/30;G03F7/42;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/46 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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