发明名称 HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE3124283(A1) 申请公布日期 1982.06.16
申请号 DE19813124283 申请日期 1981.06.19
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 SUGIURA,JUNI;KOMORI,KAZUHIRO
分类号 H01L21/033;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/105;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):G11C17/06;G11C11/34;H01L21/72 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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