发明名称 PROCESS FOR FORMING A METALLURGY INTERCONNECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0043458(A3) 申请公布日期 1982.06.16
申请号 EP19810104439 申请日期 1981.06.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHANG, KENNETH;CHIU, GEORGE TEIN-CHU;HOEG, ANTHONY JOHN, JR.;LEE, LINDA HWA-CHUN
分类号 H01L21/3213;G03F7/00;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/10;H05K3/14;H05K3/16;H05K3/46;(IPC1-7):G03F7/26;H01L23/50 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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