VERFAHREN ZUR CHEMISCHEN DAMPFABSCHEIDUNG,申请号DE19813141310-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR CHEMISCHEN DAMPFABSCHEIDUNG
摘要
申请公布号	DE3141310(A1)	申请公布日期	1982.06.16
申请号	DE19813141310	申请日期	1981.10.17
申请人	KABUSHIKI KAISHA SUWA SEIKOSHA	发明人	KOMATSU,SHOICHI;IWAMATSU,SEIICHI
分类号	H01L21/205;C23C16/40;C23C16/458;C30B33/00;H01L21/31;(IPC1-7):C23C11/00	主分类号	H01L21/205
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