发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3140890(A1) 申请公布日期 1982.06.16
申请号 DE19813140890 申请日期 1981.10.15
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,INC. 发明人 LIFSHITZ,NADIA;MICHAEL MORAN,JOSEPH;NIN-KOU WANG,DAVID
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/70 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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