VERFAHREN ZUR AUSBEUTEERHOEHUNG ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE AUF SAUERSTOFFREICHEN SI-SUBSTRATSCHEIBEN,申请号DD19800226389-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR AUSBEUTEERHOEHUNG ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE AUF SAUERSTOFFREICHEN SI-SUBSTRATSCHEIBEN
摘要
申请公布号	DD155569(A1)	申请公布日期	1982.06.16
申请号	DD19800226389	申请日期	1980.12.22
申请人	KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD;GAWORZEWSKI,PETER,DD;MAI,MICHAEL,DD;RICHTER,HANS,DD;SCHMALZ,KLAUS,DD;RITTER,GEORG,DD;PENNDORF,JUERGEN,DD;RIEPEL,GEORG,DD;NITZSCHE,WALTER,DD;GOETTLICH,WOLFGANG,DD;LIEBE,WOLFGANG,DD	发明人	KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DD;GAWORZEWSKI,PETER,DD;MAI,MICHAEL,DD;RICHTER,HANS,DD;SCHMALZ,KLAUS,DD;RITTER,GEORG,DD;PENNDORF,JUERGEN,DD;RIEPEL,GEORG,DD;NITZSCHE,WALTER,DD;GOETTLICH,WOLFGANG,DD;LIEBE,WOLFGANG,DD
分类号	H01L21/322;H01L21/324;H01L29/32;(IPC1-7):H01L21/324	主分类号	H01L21/322
代理机构		代理人
主权项
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