发明名称 GROWING METHOD FOR SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS5795898(A) 申请公布日期 1982.06.14
申请号 JP19800172671 申请日期 1980.12.09
申请人 FUJITSU KK 发明人 SAKURAI JIYUNJI
分类号 C30B1/02;C30B1/04;C30B13/06;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B1/02
代理机构 代理人
主权项
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