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发明名称 ETCHING VESSEL
摘要
申请公布号 JPS5794574(A) 申请公布日期 1982.06.12
申请号 JP19800170114 申请日期 1980.12.02
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 OGATA TOSHIAKI
分类号 B01J19/00;C23F1/08;H01L21/306 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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