发明名称 APPEARANCE INSPECTING PROCESS
摘要
申请公布号 JPS5795056(A) 申请公布日期 1982.06.12
申请号 JP19800170999 申请日期 1980.12.05
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KUJI TOMOHIRO;KENBOU YUKIO;AKIYAMA NOBUYUKI;AOKI NOBUHIKO
分类号 G01B11/02;G01B21/00;G01Q20/02;G01Q20/04;G01Q30/02;G01Q30/04;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/28 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
地址