发明名称 |
APPEARANCE INSPECTING PROCESS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5795056(A) |
申请公布日期 |
1982.06.12 |
申请号 |
JP19800170999 |
申请日期 |
1980.12.05 |
申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
KUJI TOMOHIRO;KENBOU YUKIO;AKIYAMA NOBUYUKI;AOKI NOBUHIKO |
分类号 |
G01B11/02;G01B21/00;G01Q20/02;G01Q20/04;G01Q30/02;G01Q30/04;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B11/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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