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发明名称 PLASMA-AETZEINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3140237(A1) 申请公布日期 1982.06.09
申请号 DE19813140237 申请日期 1981.10.09
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 YONEDA,MASAHIRO;HINE,SHIRO;KOYAMA,HIROSHI
分类号 C23F4/00;H01J37/16;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C15/00;H01L21/30 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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