| 发明名称 |
UNIT FOR LIQUID-PHASE EPITAXIAL GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5792597(A) |
申请公布日期 |
1982.06.09 |
| 申请号 |
JP19800167250 |
申请日期 |
1980.11.26 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
NISHIJIMA YOSHINDO;KAWAMIZU YOSHIO;FUKUDA HIROKAZU;YAMAMOTO KOOSAKU;SHINOHARA KOUJI |
| 分类号 |
C30B19/06;H01L21/02;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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