| 发明名称 |
VAPER GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5792526(A) |
申请公布日期 |
1982.06.09 |
| 申请号 |
JP19800166692 |
申请日期 |
1980.11.28 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI KK |
发明人 |
NAKANISHI TAKATOSHI;UDAGAWA TAKASHI;TANAKA TOKUJI |
| 分类号 |
H01L21/205;C01G28/00;C30B29/40 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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