发明名称 METHOD OF FABRICATING CONDUCTING OXIDE-SILICON SOLAR CELLS
摘要 The angle of deposition of tin oxide or indium tin oxide on silicon is critical in forming highly efficient heterojunction solar cells.
申请公布号 CA1125424(A) 申请公布日期 1982.06.08
申请号 CA19790328519 申请日期 1979.05.28
申请人 EXXON RESEARCH AND ENGINEERING COMPANY 发明人 FENG, TOM;GHOSH, AMAL K.
分类号 H01L31/04;C23C14/22;C23C14/24;H01L21/203;H01L21/363;H01L31/06 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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