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发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS5792177(A)
申请公布日期
1982.06.08
申请号
JP19800167992
申请日期
1980.12.01
申请人
MITSUBISHI JUKOGYO KK
发明人
NAGATA JIYUNICHI;BETSUPU SEINI
分类号
C23F1/00
主分类号
C23F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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