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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5789476(A) 申请公布日期 1982.06.03
申请号 JP19800164313 申请日期 1980.11.21
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 ARIKADO TSUNETOSHI
分类号 C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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