| 发明名称 |
METHOD OF FORMING PATTERN BY SUBLIMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5788733(A) |
申请公布日期 |
1982.06.02 |
| 申请号 |
JP19810149297 |
申请日期 |
1981.09.21 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC |
发明人 |
ERITSUKU EFU SHIYURUTO;BAANON AARU POOTAA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/321;H01L21/768;H05K3/14 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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