发明名称 METHOD OF INSPECTING THE POLISHED SURFACE OF ARTICLES FOR SMALL-SCALE SURFACE FLAWS
摘要
申请公布号 PT74873(A) 申请公布日期 1982.06.01
申请号 PT19820074873 申请日期 1982.05.11
申请人 FORD AEROSPACE & COMMUNICATIONS CORPORATION 发明人 JAMES D. HUNT;W. JERRY ALFORD;RICHARD D. VANDERNEUT;CHARLES J. CUSHING;MICHAEL L. SMITH;JAMES L. WILKES
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):G01N/ 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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