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发明名称
METHOD OF INSPECTING THE POLISHED SURFACE OF ARTICLES FOR SMALL-SCALE SURFACE FLAWS
摘要
申请公布号
PT74873(A)
申请公布日期
1982.06.01
申请号
PT19820074873
申请日期
1982.05.11
申请人
FORD AEROSPACE & COMMUNICATIONS CORPORATION
发明人
JAMES D. HUNT;W. JERRY ALFORD;RICHARD D. VANDERNEUT;CHARLES J. CUSHING;MICHAEL L. SMITH;JAMES L. WILKES
分类号
H01L21/66;G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):G01N/
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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