| 发明名称 |
VAPOR PHASE GROWING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5788099(A) |
申请公布日期 |
1982.06.01 |
| 申请号 |
JP19800163601 |
申请日期 |
1980.11.20 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
AOKI OSAMU;NOGAMI MASAHARU |
| 分类号 |
C30B25/12;C30B25/16;C30B29/40;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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