| 发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING A COMPOSITE LAYER OF HETEROEXPITAXIAL SILICON ONTO A HEATED SAPHIRE OR SPINEL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
YU223674(A) |
申请公布日期 |
1982.05.31 |
| 申请号 |
YU19740002236 |
申请日期 |
1974.08.15 |
| 申请人 |
RCA CORP. |
发明人 |
CORBOY J.F.;CULLEN G.W.;PASTAL N. |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C16/44;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/86;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
